1. 探針管理
2. 樣品臺(tái)清潔
- 每次測(cè)試后移除樣品，用丙酮或乙醇超聲清洗固定裝置10分鐘，氮?dú)獯蹈珊蟠娣拧?/div>
- 磁性樣品需退磁處理，防止吸附雜質(zhì)影響后續(xù)實(shí)驗(yàn)。
3. 光學(xué)系統(tǒng)維護(hù)
- 激光定位器需每月校準(zhǔn)：調(diào)整激光光斑至探測(cè)器中心，確保四象限探測(cè)器信號(hào)平衡(偏差<5%)。
- 反射鏡用鏡頭紙輕拭，禁用有機(jī)溶劑，防止鍍膜損傷。
三、定期校準(zhǔn)與深度維護(hù)
1. 機(jī)械校準(zhǔn)
- Z軸校準(zhǔn)：使用標(biāo)準(zhǔn)高度樣品(如硅片校準(zhǔn)樣塊，厚度誤差<±0.5nm)，調(diào)整靈敏度至壓電陶瓷響應(yīng)線(xiàn)性區(qū)。
- XY掃描器：檢查壓電陶瓷掃描范圍，通過(guò)步進(jìn)電機(jī)回位校準(zhǔn)，消除累積誤差。
2. 電氣系統(tǒng)檢
- 每季度測(cè)試接地電阻(<4Ω)，檢查屏蔽線(xiàn)纜是否破損，更換老化的BNC接頭。
- 功率放大器散熱片清灰，涂抹導(dǎo)熱硅脂提升散熱效率。
3. 軟件維護(hù)
- 定期更新控制軟件，修復(fù)漏洞并優(yōu)化算法(如降噪濾波、漂移補(bǔ)償功能)。
- 備份自定義參數(shù)文件，防止誤操作導(dǎo)致設(shè)置丟失。
四、操作規(guī)范：預(yù)防性保護(hù)
1. 開(kāi)關(guān)機(jī)流程
- 開(kāi)機(jī)：先通外部電源，再啟動(dòng)控制器，避免電流沖擊。預(yù)熱30分鐘穩(wěn)定激光器及電路
- 關(guān)機(jī)：先退出程序，關(guān)閉控制器，最后切斷總電源。禁用直接斷閘，防止數(shù)據(jù)丟失。
2. 參數(shù)設(shè)置原則
- 掃描速度：根據(jù)樣品特性調(diào)整，脆性材料需降低速度(如0.5Hz)，軟樣品可適當(dāng)提高(≤2Hz)。
- 探針力：從低載荷開(kāi)始(如10nN)，逐步增加至圖像清晰，避免劃傷樣品或損壞探針。
3. 應(yīng)急處理
- 突發(fā)斷電時(shí)，立即關(guān)閉總電源，重啟后檢查系統(tǒng)自檢狀態(tài)，必要時(shí)重新校準(zhǔn)。
- 若探針碰撞樣品臺(tái)，需停機(jī)檢查懸臂是否彎曲，重新裝調(diào)探針
五、故障診斷與長(zhǎng)效維護(hù)
1. 常見(jiàn)問(wèn)題排查
- 圖像噪點(diǎn)：檢查接地是否良好，屏蔽線(xiàn)是否松動(dòng)，增加濾波參數(shù)。
- 信號(hào)漂移：校準(zhǔn)溫度傳感器，檢查樣品臺(tái)熱膨脹系數(shù)是否匹配。
- 探針異常振動(dòng)：清潔 acoustic enclosure(隔音罩)，調(diào)整Q因子至0.1-0.3。
2. 長(zhǎng)期停用保養(yǎng)
- 每月通電2小時(shí)防潮，使用干燥氮?dú)獯祾邇?nèi)部腔體。
- 關(guān)鍵部件(如掃描器、探測(cè)器)涂抹防銹油，覆蓋防塵罩。
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